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光譜橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數(shù)以及材料微結(jié)構的光學測量設備。由于與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種吸引力的測量設備。
更新時間：2024-10-08
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